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FF-M1x緊湊型氣體質(zhì)量流量計(jì)

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最后更新:2022-11-17 14:13

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公司基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

 

FF-M1x

緊湊型氣體質(zhì)量流量計(jì)

  • 集成氣體轉(zhuǎn)換模塊
  • 22種氣體嵌入
  • 多參數(shù)輸出:質(zhì)量流量、溫度和壓力
  • USB-C和藍(lán)牙通信
  • Namur NE107狀態(tài)指示

小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)

FLEXI-FLOW Compact FF-M10 和 FF-M11緊湊型氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于工作壓力在真空和17 bar(a)條件下精確測(cè)量0…500 mln/min 和 0…20 ln/min之間的流量。儀表結(jié)合基于毛細(xì)管MEMS技術(shù)快速穩(wěn)定的熱式質(zhì)量流量傳感器和可靠精確的旁路結(jié)構(gòu)。基于TCS技術(shù),建立準(zhǔn)確的質(zhì)量流量測(cè)量,不受溫度和管路壓力變化影響。與集成溫度和上下游壓力傳感器相結(jié)合,22種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)集成轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀表可提供過程信息:

  • FF-M10:流量+溫度
  • FF-M11:流量+溫度+上下游壓力

技術(shù)參數(shù)

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available) min. 0…500 mln/min
max. 0…20 ln/min
(based on N2)
Pressure ranges FF-M10: not available / FF-M11: 0…17 bar(a)
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration) Up to ±0.5% Rd plus ±0.1% FS (N2/Air/O2);
for other gases add conversion uncertainty
Repeatability Flow sensor: < ±0.2% Rd;
Pressure sensors: < ±0.2% FS
Turndown ratio up to 1:1000
Max. operating pressure 16 bar g
Multi Gas/Multi Range embedded gas data for 22 unique gases plus any mixture of these gases
Response time (sensor) 30 ms (T63)
Long term stability < 0.5% FS over period of 3 years; then < 0.2% FS per year
Mounting any position, attitude sensitivity negligible
Temperature sensitivity Flow sensor: zero 0.0015% FS/ºC; span 0.03% Rd/ºC;
Pressure sensors: zero 0.16 mbar/ºC; span 0.05% Rd/ºC
Temperature accuracy ± 0.2 ºC (instrument body temperature)
Accuracy pressure sensors ±0.5% FS
Pressure sensitivity standard: < 0.15% Rd/bar typical N2;
with pressure correction: < 0,02% Rd typical N2
Leak integrity, outboard tested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Mechanical parts
Material (wetted parts) aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Surface quality 1.6 mu Ra (<0.8 mu Ra for stainless steel body)
Pressure rating (PN) 16 bar(g) / 250 psig
Process connections optional: compression type, push-in or face seal couplings
Seals default: FKM 51415;
for other materials contact factory
Weight 200 g with Aluminium body, 300 g with SS 316 body
Ingress protection IP40
Instrument body Aluminium or Stainless steel (selectable)
Electrical properties
Power supply 24 Vdc ± 10%
Max. power consumption 0.35 Watt
Digital communication Modbus RTU or FLOW-BUS (selectable)
Support interface USB-C port for easy setup;
Optional Bluetooth connection for monitoring
Electrical connection 9-pin D-sub (male)
Electrical connection
CE EMC 2014/30/EU, RED 2014/53/EU, RoHS 2011/65/EU

技術(shù)參數(shù)如有 變更,恕不另行通知。

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