1

流量規格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30)               SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30)               SLM

2

準確度

 ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

3

線性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

4

重復精度

±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

5

響應時間

電特性:    10   sec      氣特性:  ≤ 4 sec

6

最大工作壓力

10  MPa

-

7

氣壓降

-

＜ 0.02 MPa

8

工作壓差范圍

≤10SLM  (0.2 ~ 0.8)  MPa
＞10SLM  (0.2 ~ 0.6)  MPa

-

9

耐壓

10  MPa

10  MPa

10

工作環境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

11

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

12

電源

+15 V   50 mA
  -15V   200 mA

13

外形尺寸

詳見圖4

14

重量

1.2kg

1kg