U23系列減壓器

U23系列減壓器適用于大流量應(yīng)用，特別適用于高純低壓系統(tǒng)。膜片和閥體的密封采用了硬密封的設(shè)計，降低泄漏率，同時提高了安全性和使用壽命。

結(jié)構(gòu)特點：

• 316L 不銹鋼母體

• 膜片式硬密封，泄漏率低

• 可采用面板安裝和后座安裝

• 壓力表標準連接： 1/4” FSR (M)

• 可選：1/4” FSR (F)

• 內(nèi)部電解拋光

• 高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

• 使用壽命長

• 經(jīng)過氦氣測試

材質(zhì)：

• 母體：316L

• 閥座：PCTFE, Vespel^®

• 膜片：316L, 哈氏合金

功能特性：

• 流量：Cv=1.8

• 母體泄漏率：2×10^-9 atm cc/sec He

• 閥座泄漏率：4×10^-8 atm cc/sec He

• 設(shè)計驗證壓力：最大額定壓力的150%

• 設(shè)計爆破壓力：最大額定壓力的400%

工作條件：

• 最大進氣壓力：500, 3000 psi

• 最大出氣壓力：25, 50, 100, 150 psi

• 工作溫度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)

流道表面：

• 標準：Ra 20µin

• 可選：Ra 10µin

內(nèi)部容積：

• 59.9 cc

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流量特性曲線

安裝尺寸圖